Барлық Санаттар

Компания туралы Жаңалықтар

Басты>Біз туралы>жаңалықтар>Компания туралы Жаңалықтар

Жоғары таза вольфрам пентахлориді өндіріске сәтті енгізілді

Уақыты: 2021-10-26 Қаралды: 53

Вольфрам пентахлориді - PN түйіспесінде вольфрамды қосу үшін жартылай өткізгіш чиптерде қолданылатын химиялық бу тұндыру материалы. Материалдық талаптардың мәні оның қоспасыз және жоғары таза газдандырылғандығында. 1980-1990 жылдар аралығында WF6 жартылай өткізгіш материалдар үшін бірінші таңдау болды. WF6 бөлме температурасында газ тәріздес болғандықтан, будың тұну реакциясын жүзеге асыру оңай (WF6+H2→W+HF). Чиптерді әзірлеуде жоғары интеграция, көлемді азайту, көп функциялар және көп транзисторлар талаптарын қанағаттандыру үшін чиптегі PN түйіспелерінің қабаттасу әдісін төртбұрышты үш өлшемді стекерлеу кескіні 3 түрінен өзгерту қажет. -D қоршаудағы жинақтау, аумақты үлкейту және кішірейту. Осылайша, кремний пластинасының ауданына PN түйісулерінің саны көбірек, тығыздығы үлкенірек, ал кремний пластинасы жұқа болады. Осылайша, F on Si коррозия мәселесін (WF6 буының тұндыруынан кейінгі жанама өнім HF, ал WCl5 жанама өнімі HCl, біріншісі Si үшін коррозияға ұшырайды) және PN қосылымының кедергісін қарастыру керек. WF6 жасаған үлкен, ал тұрақтылық пен сенімділік әлсіз. Тығыздық белгілі бір дәрежеде артқан сайын, катушканың ені 10 нм болғанда, вольфрамды қосу үшін шикізат ретінде вольфрам пентахлоридін пайдалану керек.

图片 7

Жартылай өткізгіш материалдар өнеркәсібінің күші «ұлттық команда» нарық үлгісін ұсынады. Қазіргі уақытта Apple чиптері толығымен Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (TSMC, Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.) компаниясына сеніп тапсырылған; Samsung чиптері негізінен өзінің жеке чип компаниясы Samsung Electronics, Оңтүстік Кореяға сүйенеді. Компьютерлік чиптер әдетте Америка Құрама Штаттарының Intel корпорациясына (Inter) сүйенеді және жапондық компаниялар пайдаланатын чиптердің көпшілігі Toshiba (Toshiba) компаниясынан келеді. Хуаджинг дайындаған вольфрам пентахлоридті материалдың тазалығы 6N-ге дейін жоғары және өнім сапасы Корея мен Жапониядағы соңғы тұтынушылармен мойындалды.
Өнімді талдау нәтижелері келесідей:

图片 8